電子制造超純水系統(tǒng)：百惠浦環(huán)保以18.2 MΩ·cm高純水質賦能精密芯片生產
在半導體、集成電路等高端電子制造領域，超純水（UPW）是晶圓清洗、蝕刻、拋光等核心工藝的“血液”，其純度直接影響芯片良率與產品性能。百惠浦環(huán)保深耕電子級水處理領域，為長三角、珠三角等電子產業(yè)聚集區(qū)提供符合ASTM E1-2018標準的超純水系統(tǒng)，助力企業(yè)突破“卡脖子”水質瓶頸。
一、技術突破：電子級超純水的三重保障
1. 納米級凈化工藝
- 采用“預處理+雙級RO+EDI+拋光混床+終端超濾”全流程工藝，產水電阻率穩(wěn)定≥18.2 MΩ·cm（25℃），TOC≤2ppb；
- 配置脫氣膜與真空除氧裝置，溶解氧含量≤5μg/L，避免金屬管線氧化污染；
- 系統(tǒng)回收率≥85%，單日產能覆蓋10T至2000T，適配8英寸至12英寸晶圓產線需求。
2. 零污染材料體系
- 接觸水體管路采用316L EP級不銹鋼（Ra≤0.25μm），閥門、泵體通過SEMI F57認證；
- 雙密封氮氣保護儲罐，杜絕空氣中CO2與微粒二次污染。
3. 智能閉環(huán)管理
- 搭載AIoT水質監(jiān)控平臺，實時追蹤40+項參數(shù)（如顆粒物≥0.1μm、總硅含量、微生物等）；
- 異常數(shù)據(jù)自動觸發(fā)備用系統(tǒng)，生產中斷風險降低95%。
二、企業(yè)硬實力：電子行業(yè)首選合作伙伴
1. 行業(yè)權威認證
- 通過SEMI S2/S8國際半導體設備安全標準；
- 取得中國電子工業(yè)純水GB/T 11446.1-2013最高等級（EW-Ⅰ）認證。
2. 敏捷交付體系
- 蘇州、深圳兩大智能制造基地，年產能超500套系統(tǒng)；
- 關鍵膜組件美國陶氏原廠直采，48小時應急備件全國直達。
3. 全生命周期服務
- 7×24小時駐廠工程師團隊，提供純水系統(tǒng)GMP+驗證文件；
- 免費水質診斷+3年核心部件質保，客戶綜合運維成本下降30%。
三、實證案例：某頭部芯片企業(yè)純水系統(tǒng)升級項目
客戶痛點
- 原有系統(tǒng)TOC波動（5-10ppb），導致12英寸晶圓表面有機物殘留，良率僅81%；
- 設備能耗高，噸水耗電量達2.8kW·h。
百惠浦解決方案
- 定制“二級RO+雙通道EDI+紫外光催化”組合工藝；
- 集成熱法消毒模塊（SIP）與超濾錯流過濾技術。
量化成果
- 超純水TOC穩(wěn)定≤1.5ppb，芯片良率提升至98.6%；
- 系統(tǒng)噸水電耗降至1.2kW·h，年節(jié)約成本超600萬元；
- 獲評客戶年度“最佳技術合作伙伴”。
百惠浦環(huán)保以“零缺陷”水質為目標，持續(xù)攻克電子超純水領域的技術壁壘。深耕水處理行業(yè)近20年，合作案例1000+，純水處理，就找百惠浦！純水設備系統(tǒng)解決方案全球提供商，根據(jù)客戶水質需求提供設計、設備、工程、服務一站式服務，企業(yè)水處理難題，百惠浦環(huán)保為你解決！
2025年05月07日
